产品展示

专为半导体设备门设计，采用全氟醚橡胶（FFKM）与金属材质，满足Class 1级洁净度要求，离子析出率＜0.001ppb。

核心性能：

• 耐等离子体刻蚀（CF4/O2混合气体）

• 耐温范围：-50℃~250℃（瞬时300℃）

• 动态密封寿命＞100万次循环

• 颗粒释放量＜10个/ft³（0.1μm以上）

应用场景： 晶圆传输腔体、蚀刻机台、CVD/PVD设备、光刻机真空门阀。

尼可橡胶门阀解决方案：

• 一体成型无接缝设计：消除泄漏隐患

• 自润滑涂层：减少摩擦颗粒生成

• 快速排气结构：缩短机台抽真空时间30%